XPS測試(光電子能譜)用于檢測材料表面元素半定性分析,化學價態分析,腐蝕層厚度。

Ø  XPS原理

X射線光電子能譜(XPS),基于光電離作用，當一束光子輻射到樣品表面時，光子可以被樣品中某一元素的原子軌道上的電子所吸收，使該原子解脫原子核的束縛，以一定的動能從原子內部發射出來，變成自由的光電子，而原子本身則變成一個激發態的離子。當固定激發源能量時，其光電子的能量僅與元素的種類和所電離激發的原子軌道有關，由此根據光電子的結合能定性分析物質的元素種類。經X射線輻照后，從樣品表面射出的光電子的強度與樣品中該原子的濃度呈線性關系，可以進一步進行元素的半定量分析。另外，XPS的重要應用是對元素的化學價態進行分析。

Ø  儀器型號：Thermo Scientific K-Alpha

Ø  儀器技術參數

ü  離子源：100-4000eV

ü  束斑直徑：1-10mm

ü  濺射速率范圍：0.1-50nm/min

ü  采樣深度：金屬0.5-2nm，無機物1-3nm，有機物3-10nm

Ø  送樣要求及注意事項

ü  固體粉末：均勻干燥，粒度小于70um（過200目），質量不少于100 mg；

ü  塊體、金屬及薄膜樣，長寬小于10mm，高度小于5mm。

ü  含有揮發性、油污污染物的樣品許提前去除. 帶有磁性的樣品,一定提前告知,否則設備損壞。

Ø  測試實例

Ø  服務流程

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