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SEM測試_掃描電鏡檢測
SEM測試_掃描電鏡檢測
SEM測試_掃描電鏡檢測用于測試材料表面形貌,外觀,粒徑,元素組成及其分布。
  • 描述
  • 應用領域
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SEM測試(掃描電鏡)用于檢測材料表面形貌,測試材料外觀形貌;分析材料的粒徑,測定元素組成及測量其分布。

Ø  SEM原理

樣品表面加一個強電場,樣品表面勢壘降低,由于隧道效應,樣品金屬內部的電子穿過勢壘從金屬表面發射出來,這種現象稱場發射。亮度高約比普通SEM100倍,分辨率可達10nm.

Ø  儀器型號:ZEISS Merlin Compact

 Ø  儀器技術參數

ü  二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV,減速模式)

ü  放大倍率: x 20~ x 800,000

ü  電子槍: 冷場發射電子源

Ø  送樣要求及注意事項

ü  粉狀樣品50-100mg之間

ü  塊狀樣品不能大于5mm寬,高度小于5mm.

ü  樣品有磁性一定要告知。

Ø  測試實例

SEM測試
SEM檢測
Mapping測試

Ø  服務流程


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